Название и модель оборудования

Прибор плазменного магнетронного нанесения покрытий VTC-2RF

Основные pпараметры

· Электропитание: 220 В переменного тока, 50 Гц

· Мощность: <1800 Вт

RF pэнергия sпитание

· Входная мощность: 220 В, 3 А

· Выходная мощность: 0–300 Вт

·· Выходная частота: 13,56 МГц

· Режим охлаждения: Режим охлаждения внутри оборудования — воздушное охлаждение

· Размер: 444 (Д) *410 (Ш) *128 (В)

Магнетронные распылительные головки

· 2-дюймовая магнетронная распылительная головка (с водоохлаждаемым промежуточным слоем), соединенная с вакуумной камерой с помощью системы быстрого сращивания

· Требования к целевому размеру: толщина Ï50* (0,1–5) мм

· 2-дюймовая магнетронная распылительная головка выдерживает максимальную радиочастотную мощность: 300 Вт

· 2-дюймовая магнетронная распылительная головка выдерживает максимальную мощность постоянного тока: 500 Вт

Напыление cмолот

· Размер камеры: Внешний диаметр Ï166* Внутренний диаметр Ï150* Высота 250 мм, изготовлена ​​из кварца высокой чистоты

· Уплотнительный фланец: диаметр 174 ммï¼изготовлен из металлического алюминия, уплотнен уплотнительным кольцом из фторкаучука

· На крышке фланца установлена ​​перегородка с ручным управлением для предварительного распыления мишени, а на имеется муфтовое соединение диаметром 6,35 мм.e фланцевая крышка для подсоединения впускной трубы.

Сетка из нержавеющей стали покрывает всю кварцевую камеру, защищая плазму

· Вакуум в камере: ï¼1,0Ã10-2 Торр (с биполярным пластинчато-роторным вакуумным насосом), ï¼5х10-5 Торр (vортексная молекула pump)

· Если требуется более высокий вакуум, вакуумная камера из нержавеющей стали может быть изготовлена ​​по индивидуальному заказу (степень вакуума может достигать 5*10-6 торр или меньше)

· Воздухозаборник полости представляет собой двойное муфтовое соединение из нержавеющей стали диаметром 6,35 мм, которое можно соединить с газовым баллоном через трубку из ПТФЭ, а размер воздухозаборника контролируется прецизионным микрорегулирующим клапаном.

Образец stand

· Стол для образцов можно вращать (для более равномерного производства пленки) и нагревать

· Размер образца: диаметр 50 мм (можно разместить подложку до 2 дюймов)

· Скорость вращения: 1-10 об/мин (регулируемая)

· Максимальная температура нагрева стола для образцов составляет 700°С (краткосрочное использование, постоянная температура не превышает 1 часа), а температура длительного использования составляет 500°С

· Точность контроля температуры: ± 10°

Вакуумный дисплей

· Модель вакуумметра: ZDZ-52T

·· Диапазон измерения: 1,0х105Па~1,0х10-1Па

· Эффективный диапазон: 3,0х103Па~1,0х100Па

· Силиконовая трубка: ZJ-52T/KF16

· Размер панели: 96*96 мм

· Регулировка вакуумметра позволяет измерять только воздух и азот, а в других случаях с большой долей газовых компонентов необходимо корректировать.

Вакуумная система (опция)

· Вакуумный интерфейс — интерфейс KF25

· Модель вакуумного насоса: VRD-16

· Скорость откачки: 4,4 л/с

· Мощность двигателя: 750 Вт

·Предельное давление: 5х10-1Па (без нагрузки)

Оборудование водяного охлаждения (опция)

· Модель: KJ-5000

· Рабочий ток: 1,4-2,1 А

· Холодопроизводительность: 2361 БТЕ/ч

· Размер: 55х28х43см (длина х ширина х высота)

· Емкость резервуара для воды: 6 л

· Скорость потока воды: 16 л/мин

Пленка tтолщина гразмер (необязательно)

·· На приборе установлен прецизионный кварцевый вибрирующий толщиномер пленки для контроля толщины пленки в реальном времени с разрешением 0,10 А

· Светодиодный дисплей, а также ввод данных, связанных с фильмом

Габаритный размер

Размер оборудования: Д 550 мм х Ш 550 м х В 1100 мм

Размер очага: Д 600 мм Ш 600 м В 600 мм

Вес

Около 55 кг

Срок годности

1 год (исключая изнашиваемые детали, такие как уплотнительные кольца)

Меры предосторожности

·Давление воздуха в камере не должно быть выше 0,02 МПа (относительное давление воздуха);

· Из-за высокого давления внутри баллона при впрыске газа в кварцевую трубку на баллоне необходимо установить редукционный клапан. Для обеспечения безопасности рекомендуется использовать давление ниже 0,02 МПа. Рекомендуется приобрести у нашей компании редукционный клапан, диапазон измерения которого составляет 0,01МПа-0,1МПа, что будет более точным и безопасным в использовании.

· Для экспериментов по нагреву образца не рекомендуется закрывать выпускной и впускной клапан на фланцевом конце трубы печи. Если для нагрева образца необходимо закрыть воздушный клапан, необходимо всегда обращать внимание на показатель манометра. Если показатель давления превышает 0,02 МПа, необходимо немедленно открыть воздушный клапан во избежание несчастных случаев (например, разрыва топочной трубы, вылета фланцев и т. д.).

· Мы не рекомендуем клиентам использовать легковоспламеняющиеся, взрывоопасные и токсичные газы. Если клиентам действительно необходимо использовать горючие, взрывоопасные и токсичные газы по технологическим причинам, пожалуйста, примите соответствующие меры защиты и взрывобезопасности самостоятельно. Компания не несет ответственности за любые проблемы, вызванные использованием легковоспламеняющихся, взрывоопасных и токсичных газов.