Печь CVD 1600C с системой подачи газа и вакуумной системой

Менеджер по продажам: Джиа

Электронная почта: Gia@tmaxlaboratory.com

Wechat: Динцюна

Пункт №.:
TMAX-1600PECVD
Оплата:
L/C, T/T, Western Union, Credit Cards, Paypal
Порт доставки:
Xiamen Port
Время выполнения:
5 Days
:
CE, IOS, ROHS, SGS, UL Certificate

Подробная информация о продукте

Печь PECVD 1600C с системой подачи газа и вакуумной системой

Система PECVD состоит из трубчатой печи, кварцевой вакуумной камеры, вакуумного система, система газоснабжения и система радиочастотного электропитания. В основном используется для: роста тонких металлических пленок, тонких керамических пленок, тонких композитных пленок, графен и т. д. Легко добавлять функции и расширять такие функции, как Плазменная очистка и травление. Система PECVD обладает преимуществами высокой пленки. скорость осаждения, хорошая однородность, высокая консистенция и стабильность.

Подробное техническое описание параметры

Модель

TL1600-I

Мощность

5кВт

Размер трубкиï¼ODï¼ (мм)

Трубка из корунда высокой чистоты: 60 мм (диаметр трубки)

Две заглушки печи расположены с каждой стороны. заглушка печи может блокировать тепловое излучение в центре трубы печи и перед нагревом его необходимо поместить в печь в правильном положении.

Размер

1120X490X855

напряжение питания

220В

фаза

однофазный

нагревательный элемент

Кремниево-молибденовый слиток модели 1800

Тип контроля температуры

Использовать Программный прибор контроля температуры Yudian (стандартный)

1. 30-сегментный программный контроль температуры, интеллектуальная ПИД-регулировка.

2. Благодаря защите от перегрева контур нагрева электропечи будет автоматически отключается, когда температура превышает температуру или когда пара сломана. ВКЛ, индикатор ВКЛ на панели не горит, индикатор ВЫКЛ горит, электропечь ограниченно защищена).

3. С интерфейсом связи 485 (стандартно с дополнительным программным обеспечением)

4. Он имеет функцию защиты от сбоя питания, то есть, когда печь включен после выключения питания, программа не запускается с начальная температура, но начинается с температуры печи, когда мощность выключен.

5. счетчик имеет функцию самонастройки температуры

(за замену импортного необходимо доплатить инструменты, опционально)

Прибор FP93 Прибор EUROTHERM Сенсорный экран инструмент

(Симаден, Япония)

Материал камеры

1. Материал пода изготовлен из высококачественного материала. поликристаллическое волокно оксида алюминия.

2. Поверхность внутренней печи покрыта Импортированное высокотемпературное покрытие из оксида алюминия 1800 градусов, которое может увеличить излучательную способность и сделать температурное поле более сбалансированным.

Клапаны и фланцы

точность управления

+/- 1â

триггер

Триггер с фазовым сдвигом

электроприбор

Чжэцзянский чинт

контролируемый кремнием

106/16E ПОЛУКРОН

Макс. температура

1600€

Номинальная температура

1550€

скорость нагрева

â¤20â/мин (может быть изменено по мере необходимости)

Рекомендуемая скорость нагрева

â¤10 â/мин

Модель термопары

Тип B

Длина нагревательной секции

300 мм

Температура окружающей поверхности

â¤45â

Вакуумная система

ВС-0.1 вакуумная система

ВС-0.1 Вакуумная система может создавать степень вакуума в трубчатой печи до 0,1 Па (и оснащена вакуумметром сопротивления дисплей).

С зеленым светодиодом цифровой дисплей экрана.

Усыновить Вакуумный насос VRD16

ВРД16	Технический термин		Спецификация
ВРД-16	Скорость перекачки м³/ч¼л/сï¼	50 Гц	16 м³/ч
			4,4 л/с
		60 Гц	19,2 м³/ч
			5,2 л/с
	Ограничение парциального давления - без газового балластаï¼Paï¼		4x10-2
	Ограничение общего давления – без газового балластаï¼Paï¼		4x10-1
	Ограничение общего давления - газовый балластï¼Paï¼		8x10-1
	источник питания		Однофазный/трехфазный
	Мощность двигателяï¼KWï¼		0,75 кВт/0,55 кВт
	Входное/выходное соединениеDN		КФ25
	масляный бак		0,9-1,5 л
	Скорость двигателяï¼rpmï¼	50 Гц	1440 об/мин

Система газоснабжения

Газ расходомер системы газоснабжения

Технические параметры:

l Пневматический канал: 6

l Пневматический контроль расхода: используйте массовый расходомер.

l Размер шкафа: 600X600X600 мм

l Со светодиодным дисплеем

l Технические параметры массового расходомера:

Интерфейс	Î¦6
Дисплей	Светодиод
Работа температура окружающей среды	5~45 дюймов
Поток контроллер	Протон используется контроллер потока, см. обратную сторону
Нержавеющая сталь стальная труба	Î¦6 снаружи X Î¦4 внутри
Давление вакуумный стол	-0,1х½0,15 МПа, 0,01 МПа/дел
Стоп клапан	Î¦6
Поток контроль	ПЛК интеллектуальное управление

Технический параметры регулятора массового расхода:

Продукт описание: Общий тип, аналоговая схема

Продукт Подробное описание: Обычный тип, аналоговая схема, резиновое уплотнение, трубчатый. шунт, который нелегко заблокировать.

Основной показатели:

Диапазон	5, 10, 20, 30, 50, 100, 200SCCM (вы можете выбрать любой диапазон). Пожалуйста, подтвердите, когда вы размещаете заказ
Точность	±1% полной шкалы
Линейный	0,5 % полной шкалы
Повторяемость	±0,2% полной шкалы
Ответ время	1С
Воздух падение давления	<0,01МПа
Максимум давление	3 МП
Работа температура окружающей среды	5ï½45â
Вход и выходной сигнал	0ï½+5,00 В
Мощь поставка	+15 В 50 мА -15 В 50 мА
Размеры	15830110
Вес	0,9 кг

Конфигурация системы газоснабжения:

Протон расходомер	6
Механический Манометр (диапазон -0,1~0,15МПа)	1
Нержавеющая сталь стальные шаровые краны	6
Нержавеющая сталь стальные сквозные соединители	6
Нержавеющая сталь стальные соединения клапанов	2
нержавеющая сталь соединитель стального цилиндра	6
ПТФЭ трубка	30M
Диаметр 80X140MM резервуар для смешивания газов	1
Каркас печи	1 комплект

РЧ-генераторы / РЧ Источники питания

Основные технические параметры источника ВЧ-питания:

Диапазон выходной мощности	0–500 Вт
Максимум отраженного мощность	200 Вт
рабочая частота	РЧ: 13,56 МГц±0,005%
Стабильность мощности	+/-0,1%
Гармоническая составляющая	-50 дБн
Ширина RF-области	0-600 мм регулируемый
Способ соответствия	автоматический
Режим охлаждения	Точки холода
Шум	<50 дБ
Радио частотный интерфейс	50Î© Н-тип
Входная мощность	208–240 В 50/60 Гц

Гарантия

Один год гарантии и пожизненный срок службы техническая поддержка

Особое примечание:

1. Расходные детали, такие как нагревательные элементы, печные трубы, тигли для проб и т. д. не находятся в пределах гарантийный срок.

2. Повреждения, вызванные использованием Гарантия не распространяется на агрессивные и кислые газы.

Меры предосторожности

1. Давление воздуха в труба печи не должна быть выше 0,02МПа

2. Из-за высокого уровня воздуха давления внутри газового баллона, на нем должен быть установлен предохранительный клапан. газовый баллон, когда газ вводится в трубу печи. Чтобы обеспечить безопасности, рекомендуется использовать давление ниже 0,02МПа

3. Когда используется печная труба является корундовой трубкой, когда температура корпуса печи превышает 1500 °С, трубка печи не должна находиться в вакуумном состоянии, а давление воздуха в трубе печи должно быть равно атмосферному. давление.

4. Поток газа в труба печи должна быть менее 200SCCM, чтобы избежать воздействия холода поток воздуха на трубе горячей печи

5. Для нагрева образца эксперимента, не рекомендуется закрывать выпускной клапан и впускной клапан конец фланца топочной трубы. Если вам необходимо закрыть газовый клапан для нагрева пробы, необходимо всегда обращать внимание на показания манометра. Если давление превышает 0,02МПа, необходимо немедленно открыть выхлопную систему. клапан для предотвращения несчастных случаев (например, разрыва трубы печи, вылета фланца, и т. д.) .

6. Не используйте графит тигли в глиноземных трубках.

7. Нагревательный элемент MoSi2 не следует использовать при низкой температуре (400-700°С) в течение длительного времени, в противном случае это может повредить нагревательный элемент.

CVD furnace

Tmax CE

TMAX Partner

CVD furnace

tube furnace

muffle furnace

1 стандартная экспортная упаковка: внутренняя защита от столкновений, внешняя экспортная деревянная упаковка.

2 Доставка экспресс, по воздуху, по морю в соответствии с требованиями клиентов, чтобы найти наиболее подходящий способ.

3. Мы несем ответственность за ущерб во время доставки и бесплатно заменим вам поврежденную часть.

Горячие Теги :

CVD-печь CVD-печь 1600C Лаборатория ССЗ

Категории

Новые продукты