Радиочастотный источник питания для PECVD

Менеджер по продажам: Джиа

Электронная почта: Gia@tmaxlaboratory.com

Wechat: Динцюна

Пункт №.:
TMAX-RFPower
Оплата:
L/C, T/T, Western Union, Credit Cards, Paypal
Порт доставки:
Xiamen Port
Время выполнения:
5 Days
:
CE, IOS, ROHS, SGS, UL Certificate

Подробная информация о продукте

РЧ источник питания для PECVD

Система PECVD состоит из трубчатой печи, кварцевой вакуумной камеры, вакуумного система, система газоснабжения и система радиочастотного электропитания. В основном используется для: роста тонких металлических пленок, тонких керамических пленок, тонких композитных пленок, графен и т. д. Легко добавлять функции и расширять такие функции, как Плазменная очистка и травление. Система PECVD обладает преимуществами высокой пленки. скорость осаждения, хорошая однородность, высокая консистенция и стабильность.

Основные технические параметры радиочастотного источника питания:

Диапазон выходной мощности	0–500 Вт
Максимум отраженного мощность	200 Вт
рабочая частота	РЧ: 13,56 МГц ± 0,005%
Стабильность мощности	+/-0,1%
Гармоническая составляющая	-50 дБн
Ширина РЧ-области	0-600 ммрегулируемый
Способ соответствия	автоматический
Режим охлаждения	Точки холода
Шум	<50 дБ
Радио частотный интерфейс	50Î© Н-тип
Входная мощность	208–240 В 50/60 Гц

RF Power Supply

Tmax CE

TMAX Partner

CVD furnace

tube furnace

muffle furnace

1 стандартная экспортная упаковка: внутренняя защита от столкновений, внешняя экспортная деревянная упаковка.

2 Доставка экспресс, по воздуху, по морю в соответствии с требованиями клиентов, чтобы найти наиболее подходящий способ.

3. Мы несем ответственность за ущерб во время доставки и бесплатно заменим вам поврежденную часть.

Горячие Теги :

Радиочастотный источник питания ПЭЦВД CVD-печь

Предыдущий :
Печь CVD 1600C с системой подачи газа и вакуумной системой
Следующий :
Вакуумная система VS-0.1 с вакуумным насосом VRD16 для системы CVD

Категории

Новые продукты