Однозонная трубчатая печь Lab 1200C CVD

Система CVD состоит из системы подачи газа + трубчатой ​​печи + вакуумной системы, а максимальная температура может достигать 1200 градусов. , 1400 градусов, 1600 градусов и 1700 градусов. Зона нагрева может быть однотемпературной зоной, двухтемпературной зоной, трехтемпературной зоной и т. д. Предельный вакуум может достигать 10-3Па. Система подачи газа может представлять собой массовый расходомер или поплавковый расходомер для регулирования расхода. Количество каналов микширования может составлять 2 канала, 3 канала, 4 канала и 5 каналов.

Подробные технические параметры трубчатой ​​печи

Тип	1200-И	1200-II	1200-III	1200 В	1200-ВИ	1200-VII
Мощность	3,5 кВт	3,5 кВт	3,5 кВт	5кВт	6кВт	7кВт
Размер трубкиï¼OD (мм)	Диаметр 60 X1000	Диаметр80X1000	Диаметр 100X1000	Диаметр 150X1000	Диаметр200X1000	Диаметр250X1000
Размеры	1140X450X690	1140X450X690	1140X450X690	1110X530X755	1120X580X805	1314X680X905
Напряжение питания	220 В
Фаза	Однофазный
Нагревательный элемент	Проволока сопротивления
Контроль температуры	Программный контроль температуры БПЛА инструмент (стандартный) 1, 30-ступенчатая программа температуры управлять интеллектуальной регулировкой ПИД. 2. С защитой от перегрева, контур нагрева электропечи автоматически отключается при температура превышена или нарушена (когда электрическая печь температура превышает 1200 градусов или термопара перегорела, реле переменного тока на главной цепи будет автоматически отключена, основная цепь сломанный. Горит, индикатор ON на панели не горит, индикатор OFF горит, а индикатор электропечь с ограниченной защитой). 3, с интерфейсом связи 485 (стандартно при покупке программного обеспечения) 4, с защитой от отключения питания функция, то есть когда питание включается после выключения питания, программа запускается не со стартовой температуры, а с печи температура повышается с момента сбоя питания. 5, счетчик имеет функцию самонастройки температуры (за замена импортных инструментов (по желанию) Температурный регулятор FP93 (шимасима, Япония) ЕВРОПЕЙСКИЙ прибор Прибор с сенсорным экраном
Материал камеры	1. Печь для отверждения поликристаллического волокна из высококачественного оксида алюминия высокой чистоты. методом вакуум-фильтрации. 2. Сформирован по японской технологии. 3. Расстояние и шаг сопротивления. все провода в печи расположены в соответствии с лучшими термическими технологии в Японии, а температурное поле моделируется тепловым программное обеспечение.
Клапан и фланец
60/80/100вид сверху
Калибровка температуры (необязательно)	Обычный Калибровка температуры трубчатой ​​печи обеспечивает точность и равномерность температуры печи. Вы можете приобрести простую калибровку инструмент от компании, который поможет вам в этой работе. Полная калибровка В комплект входит стандартная термопара S-типа, калибратор температуры.
Точность управления	+/- 1â
Триггер	Сдвинутый по фазе триггер
Электроприбор	Чжэцзянский чинт
Управляемый кремнием	106/16ESEMIKRON
Максимальная температура	1200â
Номинальная температура	1150â
Скорость нагрева	â¤30â/мин(it могут быть изменены по мере необходимости)
Рекомендуемая норма повышение температуры	â¤15 â/мин
Тип термопары	Тип K
Длина нагрева	400-440 мм
Длительность постоянной температуры	150 мм
Кривая температурного поля
Температура периферийной поверхности	â¤45â
Защита открытой крышки система	Когда крышка печи закрыта открыто, реле автоматически отключит основной источник питания, эффективно обеспечивая безопасность пользователя.

ВС-0.1 Вакуумная система (VRD16)

Система (может создавать вакуум в трубчатой ​​печи до 0,6Па) состоит из всасывающего фланца (самодельный) с интерфейсом KF25, методом высоковакуумной перегородки, резистивным вакуумом манометр, сильфон, кронштейн (самодельный), вакуумный насос. Подсоедините тройник к фланцевый выпуск, подключите резистивный кремний к одному концу трехходовой трубы, подключите заслонку высокого вакуума к другому концу, подсоедините заслонку клапан и вакуумный насос с гофрой Dia25, а также использовать быстрый KF25. зажим для порта подключения. .

1. Система определения давления

Тип ZDR-I/ZDR-I-LED с одинарным сопротивлением вакуумметр

Вакуумметр сопротивления (также известный как вакуумметр Пирани) использует специально стабилизированный ZJ-52T. датчик сопротивления и применяет новый режим работы с постоянной температурой к постоянная мощность. В то же время микропроцессор используется для управления нелинейность регулирования. Линейная обработка. Он имеет характеристики стабильной работы, широкого диапазона измерения, быстрого отклика и небольшого дрейфа. И мощное и надежное микропроцессорное релейное управление, последовательная связь выход, вакуумный аналоговый выход и другие функции. Особенно подходит для измерение грубого и низкого вакуума и контроль вакуумных применений.

2. Технические параметры:

* Регулирование распределения: датчик сопротивления ZJ-52T

* Диапазон измерения: 10 5х½10 -1 Па

* Количество измерений: 1 способ

* Количество каналов управления: 2 дороги могут быть расширены до 4 или 8 дорог

* Диапазон регулирования: 5 х 10 3 ~ 5 х 10 -1 Па

* Режим управления: релейный контактный выход, нагрузочная способность 220 В переменного тока/3 А (или 28 В постоянного тока/3 А), неиндуктивный загрузить

* Мощность: 90–260 В/50 Гц или 220 В ± 10 % 50 Гц

* Потребляемая мощность: 25 Вт

* Вес: 4 кг/3 кг/0,5 кг (в зависимости от шасси)

* Размер шасси: 240 х 88 х 280 или 265 х 119 х 280 или 96 х 96 х 120

480 х 88 х 280 или 480 х 119 х 280 (ширина х высота х глубина)

3. ТТХ:

*СИД цифровой дисплей с зеленым экраном.

* Широкий выбор звездных обзоров

* Быстрая скорость отклика

* Микрокомпьютерная коррекция регулирует нелинейность и уменьшает погрешности измерений.

* Оптическая изоляция, цифровая фильтрация, улучшенная защита от помех.

* Цветная панель ПВХ, красивый внешний вид.

* Выход управления точкой или реле зоны, в то время как уставка отключена. функция защиты памяти.

4. Принять вакуумный насос VRD16

2-канальный массовый расход Счетчик системы газоснабжения

1. Обзор

1) Газ выходит из баллона, разгерметизируется. через редукционный клапан проходит через трубку из ПТФЭ на вход системы газоснабжения, а затем контролирует расход газа посредством массового расхода метр, затем проходит через бак смешения газов и затем попадает в печь вход, и газ выводится. Трахея выходит наружу, проходит через трехходовой клапан, один конец подключен к вакуумному насосу, а другой конец подключен к воздуховыпускному отверстию.

2) Манометр подключается к смесителю газов. установлены бак, диск манометра и массовый расходомер. на той же панели.

3) Каждая газовая линия имеет запорный клапан высокого давления. в целях безопасности.

4) В газовом тракте используется высокоточный газовый поплавок. расходомер, а внутренняя часть газового тракта использует трубку из ПТФЭ, которая имеет хорошие устойчивость к коррозии.

5) Все соединения соединяются с помощью наконечников, которые имеют хорошую воздухонепроницаемость и высокую сопротивление давлению.

2. Технические параметры:

Воздушный канал: 2

Пневматический контроль расхода: регулятор массового расхода.

Интерфейс: Φ6

Дисплей: светодиодный

Температура рабочей среды: 5~45°C

Регулятор расхода: Регулятор массового расхода (см. ниже). подробные технические параметры)

Трубка из ПТФЭ: Φ6 снаружи XΦ4

Вакуумметр давления: -0,1х½0,15 МПа, 0,01 МПа/дел

Глобус клапан: Φ6

3. Внутреннее давление системы газоснабжения не должен быть слишком большим, иначе это легко приведет к утечке воздуха, если газ может вытекать нормально.

4. Конфигурация газа система снабжения:

1) Массовый расходомер: 2

2) Манометр: 1

3) Запорный клапан: 3

4) Через разъем платы: 3

5) Разъем клапана: 2

6) Соединения цилиндра: 2

7) Тефлоновая трубка: 10M

8) Аэротенк: 1

9) Подставка для печи: 1 комплект

Технические параметры массового расходомера: Регулятор массового расхода обычный тип, аналоговая схема, резиновое уплотнение, трубчатый шунт, нелегко заблокировать.

основные показатели:

Диапазон: 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 SCCM, 1, 2, 3, 5, 10 SLM (диапазон можно выбрать произвольно)

⢠Точность: ±1,5 % полной шкалы

⢠Линейная: ±0,5–1,5 % полной шкалы

⢠Повторяемость: ±0,2% полной шкалы

⢠Время отклика: 10 с

⢠Падение давления воздуха: <0,01 МПа

⢠Максимальное давление: 3 МП

⢠Рабочая среда температура: 5х½45°C

⢠Входные и выходные сигналы: 0~+5,00 В

⢠Питание: +15 В, 50 мА -15 В, 50 мА

⢠Размеры: 158*30*110

1 стандартная экспортная упаковка: внутренняя защита от столкновений, внешняя экспортная деревянная упаковка.

2 Доставка экспресс, по воздуху, по морю в соответствии с требованиями клиентов, чтобы найти наиболее подходящий способ.

3. Мы несем ответственность за ущерб во время доставки и бесплатно заменим вам поврежденную часть.