Лабораторная система CVD с двухзонной вращающейся трубчатой печью 1500-1500C

Менеджер по продажам: Джиа

Электронная почта: Gia@tmaxlaboratory.com

Wechat: Динцюна

Пункт №.:
TMAX-1500-1500CVD
Оплата:
L/C, T/T, Western Union, Credit Cards, Paypal
Порт доставки:
Xiamen Port
Время выполнения:
5 Days
:
CE, IOS, ROHS, SGS, UL Certificate

Подробная информация о продукте

Лабораторная система CVD с двухзонной вращающейся трубчатой печью 1500-1500C

Система CVD состоит из системы подачи газа + трубчатой печи + вакуумной системы, а максимальная температура может достигать 1200 градусов, 1400 градусов, 1600 градусов и 1700 градусов. Зона нагрева может быть однотемпературной зоной, двойной температурной зоной, трехтемпературной зоной и т. д. Предельный вакуум может достигать 10-3 Па. Система подачи газа может представлять собой массовый расходомер или поплавковый расходомер для регулирования расхода. Количество каналов микширования может составлять 2 канала, 3 канала, 4 канала и 5 каналов.

Подробные технические параметры

Модель	1500-1500-I 1500-1500-II
Мощность	9кВт 9кВт
Трубка размер	Диаметр 60(НД) X1400 мм Диаметр 80(НД) X1400 мм
Припасы напряжение	380 В 380 В
Фаза	двухфазный двухфазный
Трубка	Корундовая трубка: AIO высокой чистоты керамика (в том числе) 99,5%
Отопление элемент	Первый температурная зона: углеродно-кремниевый стержень Вторая температурная зона: углеродно-кремниевый стержень
Скорость вращения трубы печи	С бесступенчатым двигателем с регулируемой скоростью, скорость можно регулировать в диапазоне (1-25 об/мин)
Мощность двигателя	40W
Печь можно наклонять под углом	0-30 градусов
Тип привода	Зубчатый ремень и шестерня
Управление режим	Прибор контроля температуры программы БПЛА (стандартный) 1, 30-ступенчатая программа контроля температуры интеллектуальная регулировка ПИД. 2. Благодаря защите от перегрева электрический контур отопления печи автоматически отключается при повышении температуры перегрев или поломка (когда температура электропечи превышает 1520 градусов или термопара перегорела, реле переменного тока в главной цепи будет автоматически отключен, основная цепь разорвана. Вкл. Свет на панели выключен, индикатор ВЫКЛ горит, и ограниченная защита электропечь). 3, с интерфейсом связи 485 (стандартный при покупке программного обеспечения) 4, с функцией защиты от отключения питания, что то есть при включении питания после его выключения программа начинается не с начальной температуры, а с температуры печи повышается с момента отключения электроэнергии. 5, счетчик имеет функцию самонастройки температуры (за замену необходимо доплатить импортных инструментов (по желанию) Прибор FP93 Прибор EUROTHERM Сенсорный экран инструмент (Симаден, Япония)
Материал печи	1. Высококачественный поликристаллический оксид алюминия высокой чистоты. печь для отверждения волокна, образованная методом вакуумной фильтрации. 2. Принять японскую технологию формования.
Управление точность	+/- 1â
Триггер	Сдвинутый по фазе триггер
Электрический прибор	Чжэцзян подсказка
Кремний контролируемый	106/16ESEMIKRON
самая высокая температура в первой и второй температурных зонах	1500€
Номинальный температура в первой и второй температурных зонах	1400â
Отопление ставка	â¤20â/мин (при необходимости можно изменить)
Рекомендуется скорость повышения температуры	â¤10â/мин
Термопара	S введите первый температурная зона С введите второй температурный диапазон
Длина секции нагрева в первой и второй температурных зонах	300+300 мм 300+300 мм
Длительность постоянной температуры	450 мм 450 мм

Гх-3 трехканальная подача воздуха (смешанная воздушная) система

1.1. Газ выходит из цилиндра, сбрасывается через редукционный клапан, проходит через трубку из ПТФЭ на вход системы газоснабжения, а затем проходит через массовый расход счетчик для контроля расхода газа, а затем проходит через резервуар для смешивания газов и затем поступает во вход печи.

1.2. К резервуару для смешивания газов прикреплен манометр, а манометр Диск дисплея и контроллер протонного расходомера установлены на одном панель.

1.3. В целях безопасности каждая газовая линия оснащена запорным клапаном высокого давления.

1.4. В газовом тракте используется высокоточный массовый расходомер газа, а внутренняя часть газовый тракт полностью изготовлен из трубы из нержавеющей стали, устойчивой к коррозии. сопротивление.

1,5. Все соединения в коробке соединены наконечниками из нержавеющей стали, имеющими хорошая герметичность и устойчивость к высокому давлению.

2. Технические параметры:

Пневматический канал: 3

Контроль расхода газа: массовый расходомер.

Размеры шкафа: 600X600X600 мм

Массовый расходомер технические параметры:

Интерфейс: Î¦6

Дисплей: светодиодный

Температура рабочей среды: 5~45°C

Контроллер потока: Параметры контроллера потока протонов. Проверьте еще раз

Трубка из нержавеющей стали: Î¦6 за пределами X Î¦4

Давление вакуума таблица: -0,1х½0,15 МПа, 0,01 МПа/деление

Запорный клапан: Î¦6

Управление потоком: ПЛК интеллектуальное управление

3. Массовый расходомер технические параметры:

Продукт Название: Регулятор массового расхода

Продукт Описание: Нормальный тип, аналоговая схема

Продукт Подробности: Обычная аналоговая схема, резиновое уплотнение, трубчатый шунт, непростая установка. блокировать.

Основной индикаторы: Диапазон: 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 SCCM, 1, 2, 3, 5, 10 SLM (диапазон можно выбрать произвольно)

â¢ Точность: ±1% полной шкалы

â¢ Линейный: 0,5% полной шкалы

â¢ Повторяемость: ±0,2% полной шкалы

â¢ Время отклика: 1 с

â¢ Падение давления воздуха: <0,01 МПа

â¢ Максимальное давление: 3MP

â¢ Температура рабочей среды: 5х½45°C

â¢ Входные и выходные сигналы: 0~+5,00 В

â¢ Мощность: +15 В 50 мА -15 В 50 мА

â¢ Размеры: 158*30*110

â¢ Вес: 0,9 кг

4. Конфигурация газа система снабжения:

1. Протонный расходомер: 3

2. Механический манометр (диапазон -0,1~0,15 МПа): 1

3. Запорный клапан из нержавеющей стали: 4

4. Соединения пластин из нержавеющей стали: 4

5. Разъем клапана из нержавеющей стали: 2.

6. Разъем цилиндра из нержавеющей стали: 3

7. Трубка из ПТФЭ: 15M

8. Смесительный резервуар диаметром 80X140 мм: 1 .

9. Подставка для печи: 1 комплект

Система высокого вакуума VS

Молекулярный насос (Вариант 1 или вариант 2)	Входное напряжение устройства	380 В/220 В
	Сильфон	KF40X1000
	Вакуумный перегородочный клапан	КФ40
	Размеры	600X600X600
	молекулярный насос (Вариант 1)	Модель	ФДЖ620
		входное напряжение	380В
		Входной фланец	Ду160
		Скорость откачки L/S (в воздух)	600
		предельное давлениеï¼Па)	6х10-7
		тип охлаждения	водяное охлаждение
		давление охлаждающей водыï¼MPaï¼	0,1-0,2
		температура охлаждающей воды	<25â
		температура окружающей среды	0~40°
		Рекомендуемое пусковое давление	<100Па
	Вакуумный насос фор-ступени ТРП-24 молекулярного насоса (Молекулярный насос FJ620 должен быть оснащен предыдущим насосом) (Вариант 2	еç	0,75кВт
		çµå	380В
		è½¬é	1450 об/мин
		Â· Диаметр впускного отверстия	КФ25/КФ40
		Прокачка переднего двигателяï¼L/Sï¼	6
		Предельное давление	4X10 -2Па
	Вакуумный насос Pfeiffer, Германия (Вариант 2)	напряжение	220В
		мощность	110 Вт
		Интерфейс извлечения	КФ40
		вес	150 кг
		Скорость накачки переднего двигателя	0,9 м 3/ч
		скорость откачкиï¼N2ï¼	33л/с
	композитные вакуумметры	модель	ЗДФ
		источник питания	220 В 55 Вт
		точность управления	± 1%
		Диапазон измерения вакуумметра	10-5 -10 5 Па

Tmax CE

TMAX Partner

CVD furnace

tube furnace

muffle furnace

1 стандартная экспортная упаковка: внутренняя защита от столкновений, внешняя экспортная деревянная упаковка.

2 Доставка экспресс, по воздуху, по морю в соответствии с требованиями клиентов, чтобы найти наиболее подходящий способ.

3. Мы несем ответственность за ущерб во время доставки и бесплатно заменим вам поврежденную часть.

Горячие Теги :

CVD-печь Вращающаяся трубчатая печь CVD Система CVD 1500-1500C

Категории

Новые продукты